前几日  ，随着经济北京复工复产的快速推进  ，东方晶源积极领导组织设备交付其他工作  ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和最关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付北京准客户。此举 出机 ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机海外 知名晶圆代工厂后  ，再一次能够 头部准客户的青睐和能够 。提高自身  ，标志着东方晶源硬件产品中再一次进入批量交付核心模式。

此举 出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515  ，面向300mm硅片工艺制程 ，除它具该产品中中惯甚至高灵敏度电性和物理缺陷检测、有效被控制 核心完美解决28nm及超过良率核心完美解决、自主创全新高性能缺陷检测引擎（DNA数据结果库）、此基础深度再一次学习的缺陷自动分类（ADC）算法等产品中特点外 ，东方晶源研发核心团队他还在上一代产品中的此基础上升级至至  ，使SEpA-i515它具更高的TPT和更优的平台提供设计搭配组合  ，设备运行效率、性能指标均有大幅全面提升。就是就是  ，上一代产品中SEpA-i505 已然在海外 头部晶圆代工厂量产一月  ，产品中性能及稳定性能够 充分验证。

另一台交付的产品中为最关键尺寸量测设备  ，型号为SEpA-c410 ，面向300mm硅片工艺制程  ，对其先进的电子束成像管理系统和高速硅片传输方案  ，搭配组合 精准的量测算法 ，可得以实现高重复精度、高分辨率及高产能的最关键尺寸量测。该设备自上个月6月底再一次进入海外 头部晶圆代工厂创下产线验证进展顺利  ，阶段性验收成果能够 准客户能够 。

东方晶源电子束量测检测设备  ，依托所承担的国家的科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化其他项目 ，历经数年攻坚克难 ，突破多项核心最关键技术实现  ，从零部件到整机设计搭配组合 制造 ，均它具不过自主知识产权  ，填补海外 空白。到目前  ，两款设备再一次进入批量交付核心模式  ，产业化进程胜利丰硕成果。

此举 设备交付的准客户所在躺倒海在你国集成电路产业它具举足轻重的地位  ，到到目前然更成海外 集成电路产业综合总体水平高、产业链完整、产业生态人文环境 这样集聚地更成。东方晶源更为看重在北京的迅速发展和布局  ，继计算光刻该软件（OPC）再一次进入北京头部晶圆代工企业所后  ，硬件产品中将于登陆北京。为更好地机会的增值服务超过海为核心的长三角准客户  ，东方晶源将于上个月8月份在北京设立子其它公司  ，行成北京总部、北京子其它公司和北京子其它公司为核心的三地布局  ，加大企业所贴近产业前沿高地  ，为集成电路企业所所带去优质的产品中和增值服务 ，更好地机会的与上下游企业所携手加大产业迅速发展的提高自身  ，构筑企业所提高自身竞争壁垒。

东方晶源自将于成立创下  ，专注于芯片制造最关键环节的良率被控制和全面提升市场领域  ，行成以计算光刻该软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的产品中矩阵  ，并向更好地机会相关事件市场领域积极布局。硬件提高自身  ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发其他工作  ，加大夯真是海外 电子束检测市场领域领先的目前市场地位和技术实现实现强大优势。该软件提高自身  ，光刻工艺严格仿真该软件PanSim已然在准客户侧对其验证  ，届时7月底release V1.0版本。今后 ，东方晶源将立足通用该软件平台提供和检测装备两大市场领域  ，寻求横纵向迅速发展机遇  ，为准客户提供更好地更为多样化的产品中  ，向着海外 集成电路市场领域良率管理领导者的大目标奋进。