7月9日  ，由其他其他国家集成电路创新因为未来联盟主办的”2022集成电路产业链协同创新发展中交流会”以六大会场加侵删连线的利用同步举办。来自美国集成电路全产业链各环节的优秀企业本身、高校和科研院所的千余位主要代表参会  ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海国学大师受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业技术一创新奖（简称“IC创新奖”）  ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI） ，没拿到技术一创新奖。

　　“IC创新奖”由其他其他国家集成电路创新因为未来联盟主办  ，面向到国内集成电路产业链上下游企事业该单位征集 ，重点鼓励集成电路技术一创新、成果产业化、产业链上下游成功合作 ，是集成电路产业最非常关键的的技术一奖项成了  ，其余技术一创新奖项旨在表彰在集成电路重大技术一创新和非常关键技术一开发诸多方面已没拿到重大突破的该单位和公司团队。据悉摘得行业发展重磅赛事的非常关键的奖项  ，又一次 彰显出东方晶源在电子束检测、量测领域发展的技术一自身实力和行业发展的真实高度认可。

　　检测是芯片制造厂商从而没拿到综合水平 良率的非常关键方式多。电子束检测设备具有独特超高精度  ，在高端芯片制造经历过程发挥的促进作用越来越多越多大。目前已  ，该类设备被到国内厂商垄断  ，成了制约目前我国芯片制造自主可控的非常关键瓶颈。东方晶源数年磨剑  ，成功完成研声音到国内首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505 ，可提供全面完整的纳米级缺陷检测和分析结论解决好方案。目前已已开展目前我国头部芯片制造厂商产线验证  ，验证最后结果结果表明两个方面指标与到国内一线对标机台以内同等综合水平  ，成功完成解决好目前我国在电子束检测领域发展的非常关键技术一解决好。

　　东方晶源在电子束检测、量测领域发展已深耕多年并成功完成值得注意推出多款设备  ，已没拿到重大突破。除据悉获奖的电子束缺陷检测设备EBI外  ，旗下首台12英寸非常关键尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于明年6月可进入 产线验证  ，目前已快速完成成熟制程量产验证 ，图像质量清晰  ，与POR 的CD差异更主要需求 各种要求  ，性能又一次 改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于明年3月可进入 产线验证  ，目前已早已可进入 准客户产线小规模试产。其余  ，东方晶源还于近两天陆续发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM）  ，目前已该设备工程机（Alpha机）早已开展首轮wafer demo ，还能更主要需求 28nm及以内能 制程更主要需求  ，Beta机集成目前工作 加速推进中  ，已已没拿到准客户订单 ，可进入 产线验证指日可待。

　　成了那家聚焦集成电路良率管理领域发展  ，以从而没拿到综合水平 芯片制造门槛为使命的半导体企业本身  ，东方晶源始终以研发创新为发展中核心  ，不段丰富产品一矩阵并从而没拿到综合水平 产品一性能  ，填补多项到国内空白。因为未来 ，东方晶源将又一次 立足一体化该软件新平台和检测装备两大领域发展  ，以准客户为四大中心  ，以当前市场为导向  ，不段开展技术一突破与产品一创新  ，与目前我国集成电路产业上下游企业本身勠力同心  ，推动目前我国集成电路制造产业又一次 高速发展中。